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UV400 GaN基外延片測溫儀用于GaN基外延的晶圓表面溫度和反射率真實(shí)測量，溫度范圍650…1300℃

Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計能夠自動探測測量材料發(fā)射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能，并且兼具實(shí)時輻射率補(bǔ)償?shù)膬?yōu)點(diǎn)。其采用塊化設(shè)計，可快速量身定制，滿足不同的的工藝應(yīng)用要求。

Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程，應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片，外延，晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測溫;OR4000T型具備多通道能力，支持高達(dá)2kHz的讀取速率，符合半導(dǎo)體應(yīng)用中極為嚴(yán)格的要求。 其采用模塊化設(shè)計，可快速量身定制。

Sekidenko OR400M半導(dǎo)體外延片測溫儀產(chǎn)品系列的應(yīng)用范圍擴(kuò)展至3.3um-5.2um的中紅外波長范圍。OR400M可進(jìn)行單通溫度測量，用于半導(dǎo)體設(shè)備的高精密溫度測量，用于硅片，腔室的精確測溫。OR400M支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口。OR400M設(shè)計緊湊，易于集成，可滿足許多工藝應(yīng)用的要求。